科技立异
我国首条光刻用石英玻璃基板成套生产线建成
泉源：中国修建质料科学研究总院 宣布时间：2016-06-12
克日，，，，，，，DB电竞总院石英院基于光刻用石英玻璃基板绿色制造手艺，，，，，，，在衢州建设了海内首条从基板原质料制造到产品加工的成套生产线。。。 。。 。。该生产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板，，，，，，，突破了石英玻璃基板原质料及产品恒久依赖入口的时势。。。 。。 。。
该生产线的建设，，，，，，，是DB电竞总院肩负的“十二五”国家科技支持妄想“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种质料要害手艺研发及树模”课题的效果之一。。。 。。 。。石英玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的焦点器件，，，，，，，市场需求量重大。。。 。。 。。作为石英玻璃基板的原质料，，，，，，，合成石英玻璃具有热稳固性好、光学匀称性高、耐辐照等诸多优点。。。 。。 。。然而，，，，，，，受原质料纯度、匀称性及加工精度、硬脆特征等制约，，，，，，，我国石英玻璃基板恒久依赖入口。。。 。。 。。
作为我国唯一专业从事石英玻璃研究的科研院所，，，，，，，DB电竞总院石英院依托浙江衢州高新园区的化人为源，，，，，，，形成了循环经济工业链，，，，，，，建设了高性能石英玻璃研发基地，，，，，，，并建设中建材衢州金格兰石英有限公司。。。 。。 。。经科研职员不懈起劲，，，，，，，形成一套切合我国行业现状与生长趋势的独吞工艺蹊径，，，，，，，不但解决了石英玻璃基板原质料的纯度、匀称性难题，，，，，，，同时实现了原质料绿色制造。。。 。。 。。石英院还引入多刀切割、清静快速磨抛工艺，，，，，，，创立性地开发了熔拉制坯、数控倒角等手艺，，，，，，，解决了石英玻璃基板加工精度的难题。。。 。。 。。从基板原质料制造到产品加工，，，，，，，石英院形成专利20余项，，，，，，，行业标准、国军标及国家标准10余项，，，，，，，开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品，，，，，，，不但逐步替换入口，，，，，，，实现了集成电路等用高性能石英玻璃要害质料及制品的国产化，，，，，，，并且出口欧洲、日本等国。。。 。。 。。
